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    CP12 全自动12英寸探针台

    项目

    CP12探针台

    机台尺寸

    1620mm(W) *1230(D)*1450mm(H)

    适用晶圆

    200mm,300mm

    晶圆厚度

    250~2000μm

    Die Size

    350μm ~76,000μm

    晶圆搬运方式

    背面真空吸取,双Arm

    针测精度

    XY:±1.5μm;Z:±2.5μm

    XY平台

    重复定位精度±1μm

    Z轴

    重复定位精度±1.5μm,最大速度30mm/s

    针测压力

    50kg(可选200kg)

    校准方式

    图像校准,高低倍模板匹配

    Index Time

    240ms(基于Die Size 6mm,Z Clearance 0.5mm)

    测试温度

    常温~150℃±1℃

    通讯接口

    GPIB,预留TTL和RS232

    可选功能

    ID读取,自动换卡

     

    ※主要针对CIS和SOC产品推出的高性价比探针台。

    版权所有:杭州长川科技股份有限公司 地址:杭州市滨江区聚才路410号

    电话:+86-571-85096193 传真:+86-571-88830180 技术支持:故乡人网络 浙ICP备13037257号-1

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